这种技术的优点非常突出。那就是不需改变现有设备,或者是做很少的改变,就可以达到提高晶圆工😰🄾🃋艺的要求。

    但弊端也很突出。

    第一个弊端,麻烦。

    这个技术的思想雏形😢🃆,第一次出现在130n阶段,第一次完整出现,则🜖是在🆮30n阶段。

    为什么出现得这么晚

    每道图层,都要进行分解,想想就麻烦得很啊。这个方🙯🍶法,完全是没有办法的办法。

    换个高精度的光刻机及其配套工艺,一下子不就解🟍🛴♀决了嘛这也是在30n之前,基本上无人往这个方向思考的原因。

    其次,成本。

    加工一块芯片所需要的加☑⚒工工序数目增加了。原来一次加工的步骤,现在要两次,甚至四次才可以。

    这在商用芯片的制造上,是很致命的。

    例如,如果只采用一次加工,良品率😛🂅🌝为7成。这完全是个可以接受的数字。但是当一次加工,改成四次加工的时候🊈,整个工艺的良品率就会下🉠降到2成。

    多重图案法的核心,是把一张图片分解成多🌲张。这里还会存在分图片🏊互相校准的问题。所以,在实际的生产过程中,采用这种工艺以后,其良品率会极大降低。

    用刚才的例子数据来计算,良品率,会从7成,下🟍🛴♀降到不🗩🞐到一成

    英特尔🋪🜊🀞之所以在10n节点,耗费了接近5年的时间,🙯🍶跟他们的多重四图案曝光良率较低,有♴🌧关系。

    对于一个🎜芯片🕒🉀🄍厂来说,良品率就是他们的饭碗🂸📧。

    如果在14n的时候,芯片成本是300美元。升级芯片生🋒😲产工艺的目的,自然是因为进程越高,占用的晶圆面积越小。采用新工艺后,芯片的生产成本,也自然降低。同样功能芯片,它的成本在10n时代,应该降为150美元才对。

    但这种工艺,增加了工序的数目,实😛🂅🌝际上已经增加了芯片的加工成本。再加上良品率的问题,采用新方法生产出来的芯片,弄不好成本还高于300美元了。

    在这种情况下,为什么要量产10n

    在te占据垄断地位的时候🞸😿,表现就更为突出。这也是pc的cpu连续多年,速度根本没🋟🚢有怎么🄡提升的根本原因。

    但这个理由,对全彩无效,对光电无效。

    全彩,乃至光电,🟋🛣🞏并不是一间芯⚡💿片公司,这个10n工艺解决的是有无问题,生死问题。

    这就与花为一样。花为是卖芯片的吗