半导🃚体加工工艺，本质上就是一个在硅晶圆上，不断曝光，蚀刻的过程。
而这个工📠🜒艺的提升的过程，就是曝🝦🍘光时所用的底片图案，不♝断进行增密的一个过程。
在大家的传统印象里，底片的增密，就是底片精度的提高过程。增密底片图案，除了提高光刻机精度，就没有别的办法🝊了吗
在我们的日常🏙生活当中，有个不恰当的例子，那就♹是套色印刷或者是彩色打印。
三色墨水，每个打印的🜫🅃精度😡🂸都是相同的，但是三色重合打印，单色就变成了彩色
颜色的精度，就♰从单色🜫🅃的8位，上升到了256位♹
在2005年之后，由于工艺制程的提升，最小可分辨特征尺🚧🕴🍴寸已经远远小于🄌光源波长，利用duv光刻机已经无法一次刻蚀成型。
既然无🁋🄌法📠🜒一次刻蚀成型，那就多刻蚀几次，每一次刻蚀一部♝分，然后拼凑成最终图案。
从每个部分图形的加工过程来说，用的都是📊原有的加工方法和设备，🕤但它可以实现更高精度的芯片加工。
它就是多重图案化技术
多重图案法就是将一个图形，分离成两个或者三个部分。每个部分按照通常的制程方法进行制作。整个图形最后再合并形成最终的图🔍⚾层。
按照这个理论，图形🅤精度简直可以无限分割下去。
但实际上，这个方案也有它的局限。
光刻机，做到了极🈮🁬🈵限，是因为光**长的缘故😕🁍。
图案分割，做到最后，也会有这个问题。
当光罩上图形线♰宽尺寸接近光源波长时，衍射将会十分明显。
光刻机🁋🄌内部光路对于光线的俘获能力是有限的，如♹果没有足够的能量到达光刻胶上，光刻胶将无法充分反应，使得其🇷尺寸和厚度不能达到要求。
在后续🁋🄌的显影、刻蚀工艺中起不到应🙶🙶有的作用，导致工艺的失败。
所以用这个方法，步进到7n，就做不下去了。因为从原理上就出现了问👿🎪题🍮🚤。
7n之后，必须使用euv光刻机，那个对中国禁运的光刻机，👋就是这个道理🄌。
在这个🁋🄌阶段，它还不是个问题。阻碍晶圆工艺进步的主要原因，来自生产设备，工艺，而不是原理。
任何事情都有利有弊。
而这个工📠🜒艺的提升的过程，就是曝🝦🍘光时所用的底片图案，不♝断进行增密的一个过程。
在大家的传统印象里，底片的增密，就是底片精度的提高过程。增密底片图案，除了提高光刻机精度，就没有别的办法🝊了吗
在我们的日常🏙生活当中，有个不恰当的例子，那就♹是套色印刷或者是彩色打印。
三色墨水，每个打印的🜫🅃精度😡🂸都是相同的，但是三色重合打印，单色就变成了彩色
颜色的精度，就♰从单色🜫🅃的8位，上升到了256位♹
在2005年之后，由于工艺制程的提升，最小可分辨特征尺🚧🕴🍴寸已经远远小于🄌光源波长，利用duv光刻机已经无法一次刻蚀成型。
既然无🁋🄌法📠🜒一次刻蚀成型，那就多刻蚀几次，每一次刻蚀一部♝分，然后拼凑成最终图案。
从每个部分图形的加工过程来说，用的都是📊原有的加工方法和设备，🕤但它可以实现更高精度的芯片加工。
它就是多重图案化技术
多重图案法就是将一个图形，分离成两个或者三个部分。每个部分按照通常的制程方法进行制作。整个图形最后再合并形成最终的图🔍⚾层。
按照这个理论，图形🅤精度简直可以无限分割下去。
但实际上，这个方案也有它的局限。
光刻机，做到了极🈮🁬🈵限，是因为光**长的缘故😕🁍。
图案分割，做到最后，也会有这个问题。
当光罩上图形线♰宽尺寸接近光源波长时，衍射将会十分明显。
光刻机🁋🄌内部光路对于光线的俘获能力是有限的，如♹果没有足够的能量到达光刻胶上，光刻胶将无法充分反应，使得其🇷尺寸和厚度不能达到要求。
在后续🁋🄌的显影、刻蚀工艺中起不到应🙶🙶有的作用，导致工艺的失败。
所以用这个方法，步进到7n，就做不下去了。因为从原理上就出现了问👿🎪题🍮🚤。
7n之后，必须使用euv光刻机，那个对中国禁运的光刻机，👋就是这个道理🄌。
在这个🁋🄌阶段，它还不是个问题。阻碍晶圆工艺进步的主要原因，来自生产设备，工艺，而不是原理。
任何事情都有利有弊。