这种🛂🙥🌠技术的优点非常突出。那就是不需改变现有设备,或者是做很少的改变,就可以达到提高晶圆工艺的要求。
但弊端也很突出。
第一个弊端,麻烦。
这个技术的思想雏形,第一次出现在130n阶段,第一☶🜢次完整出现,则是在30n阶段。
为什么出现得这么晚
每道图层,都要进行分解,想想就麻烦得很啊。这个方法,完🜩🄷全是没有办法的办法。
换个高精度的光刻机及其配套工艺,一下子不就解决了嘛这也是在30n之💉前,🗣🝚基本上无人往这个方向思考的原因。
其次,成本。
加工一块芯片所需要的加工工序数目增加了。原来一次🆟🐷🄡加工的步骤🚃,现在要两次,甚至四次才可以。
这在商用芯片的制造上,是很致命的。
例如,如果只采用一次🏿加工,良品率为7成。这完全是个可以接受的数字。但是当一次🜆⛡加工,改成四次加工的时候,整个工艺的良品率就会下降到2成。
多重🛂🙥🌠图案法的核心,是把一张图片分解成多张。这里还会存在分图片互相校准的问题。所以,在实际的生产过程中,采用这种工艺以后,其良品率会🎜极大降低。
用刚才的例子🎗👋数据来计算,良品率🞁👎,会从7成,下降到不到一成
英特尔之所以在10n节点,耗费了接近5年的时间,跟他们的多重四图案曝光良率较🜆⛡低,有关系。
对于一个芯片厂来说,良品率就是他🜦🄙们的饭碗。
如果在14n的时候,🏿芯片成本是300美元。升级芯片生产工艺的目的,自然是因为进程越高,占用的晶圆面积越🙼🏰🝬小。采用新工艺后,芯片的生产成本,♂🅧🉀也自然降低。同样功能芯片,它的成本在10n时代,应该降为150美元才对。
但这种工艺,增加了工序的数目,实际上已经增加了芯片的加工成本。再加上良🗣🝚品率的问题,采用新方法生产出来的芯片,🅩🉑🆩弄不好成本还高于300美元了。
在这种情况下,为什么要量产10n
在t🛂🙥🌠e占据垄断地位的时候,表现就更为突出。这也是pc的cpu连续多年,速度根本没有怎么提升的根本原因。🙼🏰🝬
但这个理由,对全彩无效,对光电无效。
全彩,乃至光电,并不是一间芯片公司,这个10n工艺解决的是有无问题,生死问题。
这就与花为一样。花为是卖芯片的吗
但弊端也很突出。
第一个弊端,麻烦。
这个技术的思想雏形,第一次出现在130n阶段,第一☶🜢次完整出现,则是在30n阶段。
为什么出现得这么晚
每道图层,都要进行分解,想想就麻烦得很啊。这个方法,完🜩🄷全是没有办法的办法。
换个高精度的光刻机及其配套工艺,一下子不就解决了嘛这也是在30n之💉前,🗣🝚基本上无人往这个方向思考的原因。
其次,成本。
加工一块芯片所需要的加工工序数目增加了。原来一次🆟🐷🄡加工的步骤🚃,现在要两次,甚至四次才可以。
这在商用芯片的制造上,是很致命的。
例如,如果只采用一次🏿加工,良品率为7成。这完全是个可以接受的数字。但是当一次🜆⛡加工,改成四次加工的时候,整个工艺的良品率就会下降到2成。
多重🛂🙥🌠图案法的核心,是把一张图片分解成多张。这里还会存在分图片互相校准的问题。所以,在实际的生产过程中,采用这种工艺以后,其良品率会🎜极大降低。
用刚才的例子🎗👋数据来计算,良品率🞁👎,会从7成,下降到不到一成
英特尔之所以在10n节点,耗费了接近5年的时间,跟他们的多重四图案曝光良率较🜆⛡低,有关系。
对于一个芯片厂来说,良品率就是他🜦🄙们的饭碗。
如果在14n的时候,🏿芯片成本是300美元。升级芯片生产工艺的目的,自然是因为进程越高,占用的晶圆面积越🙼🏰🝬小。采用新工艺后,芯片的生产成本,♂🅧🉀也自然降低。同样功能芯片,它的成本在10n时代,应该降为150美元才对。
但这种工艺,增加了工序的数目,实际上已经增加了芯片的加工成本。再加上良🗣🝚品率的问题,采用新方法生产出来的芯片,🅩🉑🆩弄不好成本还高于300美元了。
在这种情况下,为什么要量产10n
在t🛂🙥🌠e占据垄断地位的时候,表现就更为突出。这也是pc的cpu连续多年,速度根本没有怎么提升的根本原因。🙼🏰🝬
但这个理由,对全彩无效,对光电无效。
全彩,乃至光电,并不是一间芯片公司,这个10n工艺解决的是有无问题,生死问题。
这就与花为一样。花为是卖芯片的吗