二十四章 : 孤峰之上点点青(1/4)
半导体加工工艺🌑♿🎈，😔🁂🃁本质上就是一个在硅晶圆上，不断曝光，蚀刻的过程。
而这个工艺的提升的过程，就是曝光时所用的底片图案，不断进行增密🞐📓🚘🞐📓🚘的一个过程。
在♁大家的传统印象里，底片的增密，就是底片精度的提高过程。增密底片图案，除了提高光刻机精度，就没有别的办法了吗
在我们的日常🐝🀵生活当中，有个不恰当的例子，那就是🃲🛬套色印刷或者是彩色打印。
三色墨水，每个打印的精度都是相同的，但是三色🕝重🃲🛬合打印，单🎋色就变成了彩色
颜色的精度，就从单色🃞😶的8位，上升到了256位
在2005年之后，由于工艺制程的提升，最🂁🝳小可分辨特征尺寸已经远远小于光源波长，利用duv光刻机🞓已经无法一次刻蚀成型。
既然无法一次刻蚀成型，那就多🕮刻蚀几次，每一次刻蚀一🔜🁙部分，然后拼凑成🃗🗿最终图案。
从每个部分图形的加工过程来说，用的都是原有的🕝加工方法和设备，但它可以实现更高精度的芯片加工。
它就是多重图案化技术
多重图案法就是将一个图形，🃕🗩分🕮离成两个或者三个部分。每个部分按照通常的制程方法进行制作。整个图形最后再合并形成最终的图层。
按照这🕔个理论，图形精度简直可以无限分割下去。
但实际上，这个方案也有它的局限。
光刻机，做到了极限，是因😀♸为光🕮**长的缘故。
图案分割，做到最后，也会有这个问题。
当光罩上图形线宽尺寸接近光源波长时，衍射将会🕝十分明显。
光刻机内部光路对于光线的俘获能力🅲是有限的，如果没有足够的能量到达光刻胶上，光刻胶将无法充分反应，使得其尺寸和厚度不能达到要求。
在后续的显影、刻蚀工🃞😶艺中起不到应有的作用，导致🃲🛬工艺的失败。
所以用这⛎🙏个方法，步进到7n，就做不下去了。因为从原理上就出现了问题。
7n之后，必🐝🀵须使用euv光刻机，那个对中🂁🝳国禁运的光刻机，就🂅🌘是这个道理。
在这个阶段，它还不是个问题。阻碍晶♟圆工艺进步的主要原因，来自生产设备，工艺，而不是原理。
任何事情都有利有弊。
而这个工艺的提升的过程，就是曝光时所用的底片图案，不断进行增密🞐📓🚘🞐📓🚘的一个过程。
在♁大家的传统印象里，底片的增密，就是底片精度的提高过程。增密底片图案，除了提高光刻机精度，就没有别的办法了吗
在我们的日常🐝🀵生活当中，有个不恰当的例子，那就是🃲🛬套色印刷或者是彩色打印。
三色墨水，每个打印的精度都是相同的，但是三色🕝重🃲🛬合打印，单🎋色就变成了彩色
颜色的精度，就从单色🃞😶的8位，上升到了256位
在2005年之后，由于工艺制程的提升，最🂁🝳小可分辨特征尺寸已经远远小于光源波长，利用duv光刻机🞓已经无法一次刻蚀成型。
既然无法一次刻蚀成型，那就多🕮刻蚀几次，每一次刻蚀一🔜🁙部分，然后拼凑成🃗🗿最终图案。
从每个部分图形的加工过程来说，用的都是原有的🕝加工方法和设备，但它可以实现更高精度的芯片加工。
它就是多重图案化技术
多重图案法就是将一个图形，🃕🗩分🕮离成两个或者三个部分。每个部分按照通常的制程方法进行制作。整个图形最后再合并形成最终的图层。
按照这🕔个理论，图形精度简直可以无限分割下去。
但实际上，这个方案也有它的局限。
光刻机，做到了极限，是因😀♸为光🕮**长的缘故。
图案分割，做到最后，也会有这个问题。
当光罩上图形线宽尺寸接近光源波长时，衍射将会🕝十分明显。
光刻机内部光路对于光线的俘获能力🅲是有限的，如果没有足够的能量到达光刻胶上，光刻胶将无法充分反应，使得其尺寸和厚度不能达到要求。
在后续的显影、刻蚀工🃞😶艺中起不到应有的作用，导致🃲🛬工艺的失败。
所以用这⛎🙏个方法，步进到7n，就做不下去了。因为从原理上就出现了问题。
7n之后，必🐝🀵须使用euv光刻机，那个对中🂁🝳国禁运的光刻机，就🂅🌘是这个道理。
在这个阶段，它还不是个问题。阻碍晶♟圆工艺进步的主要原因，来自生产设备，工艺，而不是原理。
任何事情都有利有弊。