至于双工件台的精度误差控制在两纳米之内的高难度工程技术难题现在因为🜶瑞星科技公司在磁悬浮技术上的研发上已经取得🏤了很🃫🚯大的突破，现在瑞星科技公司的工件台运动精度误差控制在两到三纳米之间，已经是追上了艾斯摩尔公司的技术水平。
因为瑞星科技公司是最早研发沉浸式光刻机技术的，在这方积累了大量的技术专利🎯，艾斯摩尔公司到今年才好不容易♙🈰🂀造出了第一款沉浸式光刻机出来，而且卖得很贵，足足比瑞星科技公司的G系列光刻机多出了一千万美金。
欧洲和鹰酱的一些晶圆厂也是为了不想一直被瑞星科技公司捏着喉咙也是采购了几十台，不过跟瑞星科技♸公司去年光是光刻机的销量就达到了198台左右，占到了百分之六十五😕🁎🄮的市场份额，成为了🎚👬光刻机市场的寡头公司。
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