会议室里面很多技术人员也是踊跃发言。
“刚才这🇾位黄海波判♐断的不错，这个情况确实跟我们扩散层离子注入工序有问题🆬💥。”
这位被点到名的技术人员眼中露出🞩🖸🗖惊喜的🈺🃜😤神🁢色。
“🄸🏊那么我🇾问你，这道工序到底出现了什么问题？”杨杰追问🍍道。
这个技术人员却是回答不上来。
“杨少，🇾难🔺道🆏🎨📣是注入机的真空度问题？”徐少秋问道。
“不错，就是注入机的真空度不够，从而引起埋入扩散层的氧化膜厚度中间薄周边厚🆁🌨，薄的部分隔离差，造成中间漏电。”🄣⚿🄣⚿
台下工程师们🆏🎨📣有的表情恍然大悟，有的则是兴奋地点头，表示不出所料，杨杰🖻🗶☤的判断和他们一样。
杨杰🝇继续道：“我认为失败也是好事，给了我们总结的经验嘛，要是不出事，我倒觉不好，那样一来大家反而什么都学不到。”
他看着席海清说道：“席总，你马上把瑞星科技公司目前正在研发中的新型离子注入机的改良🀜版真空部件拿过来对华越电子公司的设备进行升级改装。从他们给出的新设备真空参数来看，改装升级以后应该就能🟍🛸马上解决问题，过几天第二批工程流片出来以后，大家对着电镜图片就能看出区别了。”
“是，杨少，我马上安排。”
在座的工程师们有的♐心🏆🗳里还是悬着，担心这次改装升级要是依🃊🖄🐉然解决不了问题可怎么办呢？
杨杰继续按动鼠标，把🏆🗳投影仪上的图片换了一♙🈸🃉张，继续讲解道：“这张图很经典啊，这是栅邬化硅附着不良的典型特征，是多晶硅生长工艺的问题，只要改进🜱栅邬化硅生长前的清洗工艺，从而消除附着不良的现象就可以了。”
底下几☰位负责硅晶片的工程师听到这个也是赶紧记下杨杰所🍍说🃊🖄🐉的改进方案。
杨杰继续给大家讲解今后制程工艺需要改进的地方和具体方法，大家听得津津有味，🆁🌨飞快地记着笔记，人人都觉得🇦眼前被杨杰打开了一扇崭新的大门，而这道门是以前一直苦于西方技术封锁而始终不得窥其究竟的！
随着制程工艺的提升，牵涉到的问题非常之多，就连英特尔这样的公司为了每一代制程工艺也是需要耗费数十亿美金和方方面面的工程师来共同攻🍈关，可见其困难！
不过万幸的是杨杰自己本身在这方面也是有着足够多的经验，在场科学家和工程师们觉得自己仿佛在听世界级实验室出来的顶级专家传授绝密技术，而荒唐之处却在于，这🞐位专家却只有二十岁！
“大家看，这是💲🕶🎄多晶硅膜在刻蚀后的照片，对于这些蚀损斑，大家怎么看🚈这些疤？”
见大家都不说话，杨杰亲自解释：“从形态上分析，这是干法刻蚀余量不够造成的，主要是光刻机新镜头和工件🚽台的配合还没有达到🝰完美。”
杨杰看着何玉光💲🕶🎄说道：“何总，这🞩🖸🗖个问题虽然影响不大，不过还是需要再调试一下，尽量减少这种情况。”
“好的，杨少。”何玉光点头道。
会议🝇室里大家都是认真地听着杨杰一个一个地说着制程工艺上的问题，生怕错过了🟈🛌🚼什么。
“刚才这🇾位黄海波判♐断的不错，这个情况确实跟我们扩散层离子注入工序有问题🆬💥。”
这位被点到名的技术人员眼中露出🞩🖸🗖惊喜的🈺🃜😤神🁢色。
“🄸🏊那么我🇾问你，这道工序到底出现了什么问题？”杨杰追问🍍道。
这个技术人员却是回答不上来。
“杨少，🇾难🔺道🆏🎨📣是注入机的真空度问题？”徐少秋问道。
“不错，就是注入机的真空度不够，从而引起埋入扩散层的氧化膜厚度中间薄周边厚🆁🌨，薄的部分隔离差，造成中间漏电。”🄣⚿🄣⚿
台下工程师们🆏🎨📣有的表情恍然大悟，有的则是兴奋地点头，表示不出所料，杨杰🖻🗶☤的判断和他们一样。
杨杰🝇继续道：“我认为失败也是好事，给了我们总结的经验嘛，要是不出事，我倒觉不好，那样一来大家反而什么都学不到。”
他看着席海清说道：“席总，你马上把瑞星科技公司目前正在研发中的新型离子注入机的改良🀜版真空部件拿过来对华越电子公司的设备进行升级改装。从他们给出的新设备真空参数来看，改装升级以后应该就能🟍🛸马上解决问题，过几天第二批工程流片出来以后，大家对着电镜图片就能看出区别了。”
“是，杨少，我马上安排。”
在座的工程师们有的♐心🏆🗳里还是悬着，担心这次改装升级要是依🃊🖄🐉然解决不了问题可怎么办呢？
杨杰继续按动鼠标，把🏆🗳投影仪上的图片换了一♙🈸🃉张，继续讲解道：“这张图很经典啊，这是栅邬化硅附着不良的典型特征，是多晶硅生长工艺的问题，只要改进🜱栅邬化硅生长前的清洗工艺，从而消除附着不良的现象就可以了。”
底下几☰位负责硅晶片的工程师听到这个也是赶紧记下杨杰所🍍说🃊🖄🐉的改进方案。
杨杰继续给大家讲解今后制程工艺需要改进的地方和具体方法，大家听得津津有味，🆁🌨飞快地记着笔记，人人都觉得🇦眼前被杨杰打开了一扇崭新的大门，而这道门是以前一直苦于西方技术封锁而始终不得窥其究竟的！
随着制程工艺的提升，牵涉到的问题非常之多，就连英特尔这样的公司为了每一代制程工艺也是需要耗费数十亿美金和方方面面的工程师来共同攻🍈关，可见其困难！
不过万幸的是杨杰自己本身在这方面也是有着足够多的经验，在场科学家和工程师们觉得自己仿佛在听世界级实验室出来的顶级专家传授绝密技术，而荒唐之处却在于，这🞐位专家却只有二十岁！
“大家看，这是💲🕶🎄多晶硅膜在刻蚀后的照片，对于这些蚀损斑，大家怎么看🚈这些疤？”
见大家都不说话，杨杰亲自解释：“从形态上分析，这是干法刻蚀余量不够造成的，主要是光刻机新镜头和工件🚽台的配合还没有达到🝰完美。”
杨杰看着何玉光💲🕶🎄说道：“何总，这🞩🖸🗖个问题虽然影响不大，不过还是需要再调试一下，尽量减少这种情况。”
“好的，杨少。”何玉光点头道。
会议🝇室里大家都是认真地听着杨杰一个一个地说着制程工艺上的问题，生怕错过了🟈🛌🚼什么。