半导体加工工艺，本质上就是一个🙛在硅晶圆上，不断曝光，蚀刻的过程。
而这个工艺的提升的过程，就是曝光时所用的底片图案，不断进行增密🏮🝡🌭的一个过程。
在大家😃⚒🐷的传统印象里🟦，底片的增密，就是底片精度的提高过⛩程。增密底片图案，除了提高光刻机精度，就没有别的办法了吗
在我们的日常生活当中，♮有个不恰🙛当的例子，那就是套色印刷或者是彩色打印。
三色🏸墨水，每个打印的精度都是相同的，但是三色重合打印，单色就变成了彩色
颜色的精度，就从单色的8位，上升到了25⚙👶6🆅🍎位
在2005年之后，由于工艺制程的提升，最小可分辨特征尺🏵寸已经远远小于🛔🜈⛳光源波长，利用duv光刻机🞹🙅已经无法一次刻蚀成型。
既然无法一次刻蚀成🟦型，那就多刻蚀几次，每一次刻蚀一部分，然后拼凑成最终图案。
从每个部分图形的加工过程来说，用的都🗝是原有的加🈞工方法和设备，但它可以实现更高精度的芯片加🏎😻工。
它就是多重图案化技术
多重图案法📩🝣🍂就是将一个图形，分离成两个或者三个部分。每个部分按照通常的制程方法进行🕤🚼制作。整个图形最后再合并形成最终的图层。
按照这个理论，图形精度简直可以无限分🗝割下去🆅🍎。
但实际上，这个方案也有它的局限。
光刻机，做到了🀳🀳🀺极限，是因为光**长的缘故。
图案分割，做到最后，也会有这个问题。
当光罩上图形线宽尺寸接近光源波长🌺🄊时🜉，衍射将会十分明显。
光刻机内部光路对🆞于光线的俘获能力是有限的，如果没有足够的能量到达光刻胶上，光刻胶将无法充分反应，使得其尺寸和厚度不能达🕟🔤到要求。
在后续的显影、刻蚀工艺中起不到应有的作用，导致🈞工艺的失🏵败。
所以用这个方法，步进到7n，就做不下去了。因为从原理上就出现了问题。
7n之后，必须使用🟦euv光刻机，那个对中国禁运的🗖光刻机，就是这个道理。
在这个阶段，它还不是个问题。阻碍晶圆工艺进步的🈞主要原因，来自生产设备，工🔖🀦⚦艺，而不是原理。
任何事情都有利有弊。
而这个工艺的提升的过程，就是曝光时所用的底片图案，不断进行增密🏮🝡🌭的一个过程。
在大家😃⚒🐷的传统印象里🟦，底片的增密，就是底片精度的提高过⛩程。增密底片图案，除了提高光刻机精度，就没有别的办法了吗
在我们的日常生活当中，♮有个不恰🙛当的例子，那就是套色印刷或者是彩色打印。
三色🏸墨水，每个打印的精度都是相同的，但是三色重合打印，单色就变成了彩色
颜色的精度，就从单色的8位，上升到了25⚙👶6🆅🍎位
在2005年之后，由于工艺制程的提升，最小可分辨特征尺🏵寸已经远远小于🛔🜈⛳光源波长，利用duv光刻机🞹🙅已经无法一次刻蚀成型。
既然无法一次刻蚀成🟦型，那就多刻蚀几次，每一次刻蚀一部分，然后拼凑成最终图案。
从每个部分图形的加工过程来说，用的都🗝是原有的加🈞工方法和设备，但它可以实现更高精度的芯片加🏎😻工。
它就是多重图案化技术
多重图案法📩🝣🍂就是将一个图形，分离成两个或者三个部分。每个部分按照通常的制程方法进行🕤🚼制作。整个图形最后再合并形成最终的图层。
按照这个理论，图形精度简直可以无限分🗝割下去🆅🍎。
但实际上，这个方案也有它的局限。
光刻机，做到了🀳🀳🀺极限，是因为光**长的缘故。
图案分割，做到最后，也会有这个问题。
当光罩上图形线宽尺寸接近光源波长🌺🄊时🜉，衍射将会十分明显。
光刻机内部光路对🆞于光线的俘获能力是有限的，如果没有足够的能量到达光刻胶上，光刻胶将无法充分反应，使得其尺寸和厚度不能达🕟🔤到要求。
在后续的显影、刻蚀工艺中起不到应有的作用，导致🈞工艺的失🏵败。
所以用这个方法，步进到7n，就做不下去了。因为从原理上就出现了问题。
7n之后，必须使用🟦euv光刻机，那个对中国禁运的🗖光刻机，就是这个道理。
在这个阶段，它还不是个问题。阻碍晶圆工艺进步的🈞主要原因，来自生产设备，工🔖🀦⚦艺，而不是原理。
任何事情都有利有弊。